继中芯国际二期项目奠基开工后，开发区集成电路产业集群再次传来好消息，北方微电子公司承担的国家重大科技专项刻蚀机项目研发取得重大进展并实现产业化，北京中电科电子装备有限公司（以下简称“中电科”）所承担的国家重大科技专项全自动引线键合机实现批量化销售，为开发区乃至北京市集成电路产业集群规模化发展增添新的推动力。

　　“高密度等离子刻蚀机”是超大规模集成电路制造的核心工艺装备，从100纳米到28纳米，北方微电子通过自主创新突破多项关键技术，填补了我国在集成电路高端核心装备制造业的空白，为我国高端集成电路装备的自主开发奠定了基础。第四代32/28nm硅刻蚀机已于上月进入中芯国际上海TD工厂，年底前将完成28nmSTI工艺技术开发，并完成中芯国际北京二期扩产项目的产品技术验证。

　　“全自动引线键合设备”则是极大规模集成电路封装生产线后道工序最为重要和关键的设备，同时也是封装生产线上需求量最大的设备，其重要性与难度可以与前道工序的光刻机相提并论。此前键合机全球每年约15000台的需求量，国内每年需求量近10000台，但没有一台是国产设备。中电科继在国内首先研制成功试验样机后，又率先实现了产业化的突破，在日前，接到了批量化订单，为即将召开的党的十八大献上了一份厚礼！我国从“六五”计划起就研制全自动引线键合机的征程终于有了一个可以预期的完美收尾。预计2013年，北京中电科公司将投产键合机500台，实现产值1.8亿元。

　　据悉，截至目前，开发区电子信息产业已经成功打造了以诺基亚为龙头的移动通讯产业集群、以京东方为龙头的显示器产业集群、以中芯国际为龙头的集成电路产业集群，电子信息产业产值去年占全市总值的比例达到50%。随着中芯二期项目的实施、北方微电子、中电科集成电路装备的规模化量产，必将进一步夯实开发区电子信息产业的基础，培育形成新的经济增长点。

　　从样机到商品机再到批量化销售中电科全自动引线键合机实现产业化

　　“一次性就订了10台设备。”去年进驻开发区的北京中电科电子装备有限公司上下一片喜气洋洋，公司所承担的国家重大科技专项02专项课题全自动引线键合机实现了批量化销售，这也意味着，经过一年多的努力，全自动引线键合机终于从实验成果实现了产业化，填补了我国在该技术领域的空白。

　　全自动引线键合是集成电路等行业后道工序最为重要的工艺设备。2011年初，中电科完成了试验样机的研制，不过，这只是万里长征的第一步，要能满足客户的需求，研制出商业化机型还有很长的路要走：24小时连续作业，每停留一小时，都会给客户生产线带来不可挽回的损失；与进口设备现场PK，全球每年约15000台的需求量，国内近10000台的需求量，没有一台国产设备……这一切都需要国产设备保持极高的稳定性、可靠性和工艺适用性，否则被客户“退”回来以后，更难进入这个行业。

　　“人才是科技发展的第一推动力。”这个时候，国家****成员、中电科集团公司首席专家陈文博士站出来了，他带领中电科键合机项目组攻关团队开始了为期一年多的工艺摸索、考核、验证，用汗水完善了900多张机械图纸，200多万行软件代码，顺利掌握了核心技术，键合头、大推力直线电机、音圈电机、换能器、光路、断线检测、驱动电源、电子打火等系统通过自主研发，实现了突破。整机系统能满足客户个性化的需求，并最终超越课题任务的要求，完成了任务书要求的金线焊接，还开发了焊铜线、合金线、银线技术。