泛林研发的很多创新技术现在正被广泛用于解决MEMS制造面临的问题。举例来说，泛林的变压器耦合等离子体（TCP）技术能在整个晶圆表面实现出色的等离子体均匀性，而我们的变压器耦合和电容调谐线圈能创建多个均匀高功率密度晶圆区域。

泛林还能提供针对300mm晶圆开发但同样适用于200mm MEMS制造的领先设备技术。例如，我们的DSiE? G深度反应离子刻蚀（DRIE）设备就是结合了泛林的深硅刻蚀技术以及300mm先进设备——用于硅通孔刻蚀的Syndion＆reg；和用于导体刻蚀的Kiyo＆reg；系列——所具备的特性。

泛林在其他设备上也采用相同的策略，使用经过现场验证的升级手段来提升机台的性能。举例来说，用于Express处理程序的VECTOR＆reg； PECVD（用于300mm晶圆的先进电介质沉积设备）在经过针对200mm工艺的调整后已经能够满足MEMS的制造要求。

VECTOR现在使用的增强型原子氟源能为工艺腔室提供更高浓度的自由基，由此提升效率并缩短腔室清洁时间。专为VECTOR研发、用于减少缺陷的套件也为之带来众多改进，包括增强的负载锁定气流、LTM阻尼器、伺服冷却功能、基座传动装置、自动晶圆对中（AWC）等。

类似地，原本已经很成熟的SP203L单晶圆清洗系统也通过泛林最新的控制系统软件得到了升级。

基于协作的工艺优化

在通过设备改进提升晶圆相关性能的同时，晶圆厂也必须优化其工艺流程以提高可靠性、产量和良率。新流程的开发可能需要经历多个“构建和测试”周期，因此其时间和金钱成本会比较高。

得益于对Coventor的收购，泛林在器件设计、工艺建模（包括“虚拟制造”）和新式虚拟计量技术方面开始有所建树，能够避免上述的多周期现象并提高解决方案的交付速度。

基于MEMS＋＆reg；或CoventorWare＆reg；（包含CoventorMP＆reg； MEMS设计平台）的MEMS器件设计可以作为工艺优化（参见图2）的第一步。

上述设计过程的第一步是输入材料特性和工艺描述。然后通过导入MEMS布局或根据MEMS＋组件库的参数元素进行组合即可创建器件模型。MEMS＋用户可以通过组合高级有限元或特定于MEMS的基本构成要素实现完整的设计。创建器件模型后即可将其导入MEMS＋执行仿真试验。随后可将MEMS设计的降阶模型导入MathWorks或Cadence环境执行系统或电路仿真试验。前述所有形式的模型都可以用3D展示。

MEMS＋3D模型还可以被转移至CoventorWare。CoventorWare使用专门的预处理器，并设有针对MEMS器件优化的网格划分选项。该工具包含一套适用于各种MEMS物理建模的现场解决工具，其中涵盖了世界一流的耦合机电、静电、压电、压阻和阻尼效应。它还支持封装效果分析，具体实现方法包括直接模拟封装和基板的热机械行为，或使用第三方FEA工具将基底形变导入MEMS＋器件模型。

上述步骤完成后可以用SEMulator3D＆reg；在MEMS设计上执行虚拟制造和工艺建模。SEMulator3D可基于一系列单元加工步骤创建虚拟3D半导体器件模型。通过使用集成了工艺流程的完整模型，SEMulator3D可以预测工艺变更对下游过程的影响，因而晶圆厂无须再进行“构建和测试”。虚拟制造技术可用于运行数字化实验设计（DoE）生成虚拟计量数据，并针对设计给出反馈。泛林设备的实际工艺处理结果数据可以导入虚拟过程模型用于校准模型、优化工艺开发和缩短寻找“配方”所需的时间。

成功的方向

我们可以通过一项高级MEMS陀螺仪研究案例来展现工艺优化的概念。MEMS陀螺仪的结构很复杂，任何工艺缺陷（例如沟槽侧壁角度和轮廓误差）都会导致交叉耦合和器件故障。

音叉陀螺仪的驱动件和传感模块应完全正交。工艺缺陷通常会导致驱动件发生偏离设计意图的振动，而这种振动正是导致正交误差（QR）的一大原因。

在过去，陀螺仪可以容许微小的倾斜（约0．1度），但如今的高级陀螺仪可以容许的误差则要小得多。良率高低的差异可能就是由于沟槽设计中微小的斜率误差或其他不理想因素。然而，使用传统的SEM计量技术又难以精确测量这种极其微小的斜率。在这种情况下，要想保证性能，就必须制造出完整的器件进行测试，并基于测试结果进行工艺开发，而这整个过程要循环多次才能推断出真正满足要求的刻蚀工艺。

很明显，上述开发过程非常适合用虚拟模型处理。通过将斜率纳入虚拟模型可以精准确定斜率变化带来的各种影响，包括对器件性能的影响。此外还可以根据测得的性能数据对虚拟模型进行校准以及通过仿真测试确定斜率。使用这一技术可以缩短制造工艺的开发时间并提高良率。

上述概念已被实际应用于开发一款高级MEMS陀螺仪并成功提高了良率。

良率在优化前和优化后的巨大变化（从大约65％提升到99％）部分是由于能够建模并了解斜率对器件性能的影响。通过设计一种新的计量技术来更准确地测量测试晶圆的斜率也可以达到同样的效果。

综上，通过综合利用虚拟模型、创新的计量技术以及泛林的工艺和硬件开发能力可以有效缩短工艺开发周期并提升良率。

MEMS的美好未来

随着消费品、汽车和物联网应用持续推升对MEMS器件的需求，半导体行业将需要更多基于200mm晶圆的生产能力，而与其配套的ASIC则依赖制程在28nm以上的300mm晶圆生产能力。泛林集团开发的各种先进工具可以解决200mm和300mm晶圆生产领域的各种制造难题，并提供统一且高产的MEMS制造解决方案。

结合泛林的领先技术和Coventor的建模技术，再加上我们与代工厂和研究机构的合作经验，泛林的产品和服务将持续加快提供解决方案的速度，并由此缩短全新MEMS产品的上市时间。

来源：21ic