氦气，是一种稀有气体，化学式为He，在常温下，它是一种极轻的无色、无臭、无味的单原子气体。氦气是所有气体中最难液化的，是唯一不能在标准大气压下固化的物质。氦的化学性质非常不活泼，一般状态下很难和其他物质发生反应。因现在氦气在各行业中的广泛使用，使用量也越来越大，为降低工业生产成本，节约能源，将使用过的氦气回收，再次或多次使用，提高氦气的使用率势在必行。

对于上述提及的随着生产规模的扩大，氦气的使用量在逐渐递增，而直接排放的方式也不再适应于降本增效的生产要求，因此需要对氦气进行回收，现有回收方式主要通过在冷却管的下端吹氮气等形成气封层，以便阻止光纤带动氦气继续向下流动，将氦气集中到气封层的上方以便对其抽气回收，而为了保证对氦气全面的回收且减少氮气等形成气封层气体的浪费，通常需要调节控制氮气等形成气封层的流量大小及氦气回收的流量大小，而如何调节控制两个气体流量的大小成了目前急需解决的技术问题。

因此控制气体的流量与大小，在节能减排、控制成本方面也有重大意义。热式质量气体式流量计可以直接对质量流量检测，不需要温度和压力补偿，因此也正好符合使用热式质量气体式流量计来对氦气气体进行测量。

工采网提供的瑞士IST 热式质量流量传感器 － MFS02对于大流量与快速响应的应用，CTA模式下有极高分辨率，测量动态范围（10‘000‘000 ： 1），非旁路模式，对腐蚀性气体和蒸气具有高耐化学性不同的灵敏度与电路拓扑结构可供选择支持用户订制适用于通过桥式电路测量极低流量与泄漏检测应用。

瑞士IST 热式质量流量传感器MFS02 参数：

英国SST 气体流量传感器 － AFE－01由四个铂金薄膜电阻构成，阻抗低，加热区面积小。加热器左右两边各一个高阻抗电阻，用来检测流速和流向，还有一个电阻用来检测气体的温度，靠近加热元件的两个电阻连接成一个电桥，产生检测流速和流向功能的一个输出信号。在没有流量的情况下，这两个电阻达到同样的加热状态。当有流量存在时，其中一个电阻的温度比另一个低很多，具体哪个电阻温度变低由流向决定，温度差可以测量得到，由流速和流向决定。流量传感器的加热时间和响应时间非常短，因为它的热质量小。这种方式可以检测到非常微小的流速变化。 为了得到更高的流动速度， 温度传感器可以与恒温风速仪相连接。

英国SST 气体流量传感器AFE－01技术参数：

测量原理：热量原理

检测量程：0 ．．． 50 m／s （以CTA模式的电路为例）

灵敏度：0．001 m／s

精 度：＜ 2％测量值（取决于电路和标定）

响应时间：T 63％ ＜ 0．5 S

温度范围：－20…… ＋150 °C

电气连接：绝缘漆包铜线 （一般长度25 mm）

加热元件：RH （25°C） ＝ 34□± 10％

检测元件：Rs＿i （25°C） ＝ 425□ ± 10％

参考元件：RR （25°C） ＝ 710□ ± 10％

供电电压：一般为 2 …… 5 V（取决于气体流速）

基片材料：低热导陶瓷

总之，更高的参数需要客户定制

英国SST 气体流量传感器AFE－01 优势：

流向检测

检测小质量物体的流动

简单的信号处理电路和标定

完全固定的机械元件

优异的重复性

优异的长期稳定性

适用于多种行业或安装到不同外壳

zui优的性价比

       原文标题 : 流量传感器在氦气回收控制方法中的技术应用解决方案