如何在真空系统中实现压力和真空度的准确测量和控制？

2021-01-16 15:41

彻底讲清如何在真空系统中实现压力和真空度的准确测量和控制

摘要：本文详细介绍了真空系统中压力和真空度测量和控制的基本概念已经常用的技术指标，详细介绍了模／数转换精度应压力和真空度测量分辨率的匹配，介绍了采用不同量程电容压力计进行真空度控制的最小建议范围。

1．问题的提出

在各种真空工艺和测试系统的真空容器中，容器内部的气体压力或真空度的准确测量控制对于保证产品品质和仪器测量精度至关重要。由此在气压或真空度控制过程中，需要根据容器内的真空度稳定性要求来确定控制方式和真空度采集精度，据此来选择合理的控制仪表，因此需要充分理解与真空度相关的基本概念，并深入了解压力和真空的测量方式以及控制器的特性和局限性。

2．真空和压力的度量

2．1．真空和压力的各种度量单位

在各种真空和压力测量系统中，需要清晰的了解不同压力指标的含义。

通常用于真空测量的度量单位是托（Torr），等于1mmHg，它表示将汞的沉没柱高度提高1．0mm所需的大气压力，一个标准大气压力等于760Torr。在一些真空系统的真空测量中使用Torr的衍生单位毫托或1／1000Torr。大于1．0毫托的真空度通常用科学计数法表示（例如5．0E－06 Torr），在欧洲和亚洲常用的真空系统中的真空和气象测量通常将条形图分为1／1000，以产生毫巴（mbar）。

在美国常用的压力度量标准是psi或“磅／平方英寸”，使用此度量标准，海平面上的大气压力测量值为14．69psi。为了进行比较，欧洲和亚洲的压力测量将大气压力定义为1．0bar。另一个指标是“水的英寸高度”，该指标通常用于报告美国天气预报中的气压，单位是指由大气压支撑的水下水柱的高度。使用此度量标准，大气压为406．8英寸水柱（在4°C时），有时此度量单位用于工业过程中的真空测量。

压力的国际单位制量度为Pascal（缩写为Pa），以法国数学家和物理学家Blaise Pascal命名，它被定义为单位面积上的力的度量，等于每平方米一牛顿。SI单位的大气压为1．01325E＋05 Pa。有些气压测量通常也会以千帕斯卡（kPa）为单位进行报告。表2－1列出了最常见的压力表和真空表。

表2－1 压力和真空的度量

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