果然早有准备，韩国LGD完成100%使用国产氟化氢

2019-10-19 10:41

10 月 18 日讯，韩国的面板大厂 LG Display （LGD），过去在生产制程中高度依赖日本进口的氟化氢原料，已于日前全数转换为韩国产品。而这也是自日本在今年 7 月 4 日起，在输韩的氟化氢、光阻剂、氟化聚醯亚胺等三种，用于半导体及 OLED 面板制程的先进原料实施严格的出口管制后，在约一百多天的时间内完成了这项任务。

由于日韩两国之间的贸易纠纷，日本政府 7 月初决定禁止三种重要半导体、显示面板材料出口给韩国，迫使韩国公司走上独立自主的道路。LG 公司日前证实，旗下面板工厂已经完成使用国产氟化氢材料取代日本进口，100％韩国产。

高纯度的电子级氟化氢是氟精细化学品的一种，在半导体制造工艺中主要用于去除膜沉积后粘附在化学气相沉积炉内的不必要化学物质、等离子刻蚀、光刻胶图案化之后的蚀刻细槽或孔等流程，是一种半导体生产中非常重要的原材料，日本公司在这个领域占据主要份额。

在日本发布出口限制之后，8 月份对韩国出口的氟化氢材料就降至 0 了，但是此举并没有影响三星、SK 海力士及 LG 等韩国公司的芯片、面板生产，他们利用库存 3－5 个月的时间积极展开国产替代，其中氟化氢是比较容易取得成功的领域。

相比半导体生产，面板生产所需的高纯度氟化氢也更容易取代，所以 LG 公司在这方面率先取得了进展，9 月初就宣布使用韩国产的氟化氢取代日本进口材料，试验结果很成功。

此前 LG 取代的主要是气态氟化氢，现在难度更高的液态氟化氢的国产替代也成功了，14 日 LG 旗下的 LGD 公司表示面板生产过程使用的液态氟化氢已经于近期全面替换为韩国产品，未来将不再使用日本公司的进口产品。

与 LG 相比，三星、SK 海力士也在积极展开日本材料的替换工作，不过这两家的主力产品是半导体芯片，对日产氟化氢以及另外两种材料光刻胶、氟化聚酰亚胺的依赖性比 LG 更高，替换起来没这么容易。

与半导体在制程上需达到奈米单位的情况不同，在面板制程中所使用的氟化氢纯度不需太高。纯度低的氟化氢原料，就可用在面板的蚀刻与洗净制程。也由于这个缘故，目前韩国的半导体业界也多半依赖日本厂商所生产的液态氟化氢原料。

三星电子、SK 海力士已于近期，在部分制程使用从中国进口的氟化氢。而日本在实施出口管制之后，虽有放行部分的气态氟化氢出口，然而液态氟化氢的出口则尚无成功案例。