MEMS传感器有哪些分类？MEMS传感器七大分类介绍

2022-03-02 09:03

MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高，适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。下面小编给大家介绍一些MEMS传感器带分类：

MEMS传感器通常被分为以下7类：

1、压力传感器：绝对压力传感器和计量压力的传感器。

2、热学传感器：温度和热量传感器。

3、力学传感器：力、压强、速度和加速度传感器。

4、化学传感器：化学浓度、化学成分和反应率传感器。

5、磁学传感器：磁场强度、磁通密度和磁化强度传感器。

6、辐射传感器：电磁波强度传感器。

7、电学传感器：电压、电流和电荷传感器。

除了上面介绍的几种典型MEMS传感器外，还有许许多多的MEMS传感器，如用于微观判断的MEMS触觉传感器、MEMS生物传感器、MEMS图像传感器等。在不同环境中，MEMS传感器的技术应用也是不同的。

中国在?MEMS?传感器领域的研究较晚，但已经成为不可或缺的力量，中国的部分专利权的创新主体协同格局前提下，加大政府科技资金投入不但可以消解技术创新发展中的资金阻滞，又有助于引导企业或单位技术创新意识，从而提高我国创新驱动效率，促进经济快速而稳健的发展。

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