真空计中的真空传感器是如何发挥作用的？

2021-04-22 11:13

真空技术是建立低于大气压的物理环境，并在此环境中进行工艺制造、物理测量和科学实验的必要技术。真空技术主要包括真空采集、真空测量、真空检测和真空应用。

真空是一种物理现象，指的是气体在特定空间内低于大气压的状态。在真空技术中，真空是相对大气而言，一般是指特定空间内的某些物质被排出，使压力小于一个标准大气压，那么我们称这个空间为真空或真空状态。在真空中，帕斯卡（Pascal）托尔（Torr）毫巴（mbar）等常被用作压力的单位。

真空计，也称为真空表计和真空规管，是测量真空度或低气压的仪器。一般用气体的某些物理效应在不同压力下的变化来测量压力，广泛用于科研和工业生产。

根据真空计测量原理所采用的不同物理机制，主要真空计可分为三类：利用力学性能（如波尔登真空计和薄膜电容规）、利用气体动力学效应（如皮拉尼电阻规和热电偶规）和利用带电粒子效应（热阴极电离规和冷阴极电离规）。下面工采网简单介绍一下皮拉尼原理：

皮拉尼原理：根据电热丝的能量损失与电热丝周围的气体浓度和气体成分成正比的原理，用恒流源对灯丝进行加热。由于气体粒子与电阻丝碰撞带走能量，电阻丝的温度会发生变化，导致电桥（的电阻发生变化，并根据电阻变化计算气压。

皮拉尼原理真空传感器应用于真空计

真空传感器是真空计中不可或缺的元件，通过真空传感器才能检测出真空度情况，比如微型皮拉尼真空传感器PVC1000系列提供了突破性的真空测量解决方案，不但体积小，而且具有超低功耗、长寿命、低现场维护和低成本的优点。只需要少量气体（腔内体积）就可以实现高精度的测量，微型皮拉尼真空传感器具有超低功耗和快速响应时间。

工采网还代理了一款用于检测真空度的真空传感器，瑞士Neroxis 热导式气体传感器MTCS2601，基于帕拉尼原理的真空度检测，需要超低功耗，长寿命和免维护的产品，适用于恶劣环境下初级压力控制。