半导体生产车间为何必须安装氧气监测仪?
近年来,随着电子工业的快速发展,电子气体在半导体行业中的地位日益突出。半导体工业中使用的气体统称为电子气体。在半导体生产过程中,从芯片生长到最终器件封装,几乎每一步每一个环节都离不开电子气。电子气的成本占ic材料总成本的5%~6%。电子气的纯度对芯片质量有很大影响。
电子气体按种类可分为纯气体、高纯气体和半导体特种气体。半导体专用气体按纯度等级和应用场合可分为电子级、LSI(大规模集成电路)级、VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(超大规模集成电路)级。
其中,高纯气体多用于超大规模集成电路和分离器件、光电子等高科技领域,包括氧、氮、氢、氦、氩等。特殊气体主要用于外延、掺杂和刻蚀工艺。这种电子气体主要分为氢化物、氟化物和氟碳化合物。
以氮气为例,氮气用于清洗手套箱或半导体室,以确保环境的纯度。因为氮气比空气重,会把空气推出环境,从而形成缺氧状态。这有利于半导体制造,因为它可以确保环境无菌,防止一些材料与氧气相互作用。但是,如果在供氮过程中发生泄漏,空气中的氧气会减少,这种情况下,工人会因缺氧而有窒息的危险。
而且大部分“保护气体”无色无味,员工分不清是否有泄漏。因此,半导体生产车间必须安装氧气监测仪来检测氧气含量,当氮气或任何其他气体泄漏到工厂环境中时,氧气监测仪可以及时发出警报,可以使用氧气变送器或者微量氧分析仪来监测氧浓度。
工采网代理了美国Southland 氧气变送器OMD-150,基于微处理的氧气变送器,该氧气变送器能够根据具体的应用需求配置成微量氧或者常量氧检测。另外还有微量氧分析仪OMD507,采用具有世界先进水平的燃料电池氧气传感器,电路设计上采用了智能微控制技术准确度高、稳定性好,使用寿命长,功耗低,体积小巧、结构简单,使用和维护简便。

图片新闻
最新活动更多
-
1月20-22日立即报名>> 【在线观展】日本东京国际智能制造技术综合博览会
-
即日-1.25限时下载>> ADI电源设计基础知识白皮书
-
即日-2.5立即投票>> 维科杯·2020(第三届)中国机器人行业年度评选
-
即日-2.26立即下载>> 【西部数据】工业应用中的嵌入式存储
-
3月25日立即报名>> 【2021系列活动】-汽车电子技术在线会议暨在线展
-
4日7日预先登记>> OFweek 2021(第十届)中国机器人产业大会暨年度评选颁奖典礼
- 机械研发高级工程师 OFweek猎头
- 机械工程师 /机械设计师 上海中筑实业有限公司
- 机械工程师 深圳市特瑞吉科技有限公司
- 机械设计工程师(偏器械) 亿嘉和科技股份有限公司
- 机械工程师 温帆轴流风扇(苏州)有限公司
- 机械工程师 深圳市鸿栢科技实业有限公司
- 急聘高级研发工程师/机械设计师 沛煜光电科技(上海)有限公司
- 大学教师(机械设计) 武汉金石兴机器人自动化工程有限公司
- 机械结构工程师 宁波伊士通技术股份有限公司
- 非标机械工程师 杜瑞博机器人(武汉)有限公司
- SEO搜索引擎优化专员 北京市/海淀区
- 嵌入式软件工程师(ARM) 山东省/潍坊市
- 光学工程师 山东省/潍坊市
- 华东销售经理 江苏省/苏州市
- 高级采购 北京市/海淀区
- 海外销售工程师 北京市/海淀区
- 海外销售经理 北京市/海淀区
- 销售工程师 北京市/海淀区
- DQE经理 广东省/深圳市
- 业务员 广东省/深圳市
发表评论
请输入评论内容...
请输入评论/评论长度6~500个字
暂无评论
暂无评论