砷化镓
砷化镓（化学式：GaAs）是镓和砷两种元素所合成的化合物，也是重要的IIIA族、VA族化合物半导体材料，用来制作微波集成电路、红外线发光二极管、半导体激光器和太阳电池等元件。GaAs经常被用作其III-V族半导体外延生长的基底材料，包括砷化铟镓、砷化铝镓等。
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一文了解砷化镓GaAs系外延基板的问题
最近做芯片和外延的研究,发现同样的外延工艺和芯片工艺做出来的芯片性能差别很大,大到改变试验设计的“世界观”。基板衬底的质量好坏很关键。 今天专门扒一扒砷化镓GaAs系外延基板的问题,以及砷化镓外延
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